측정물을 정반 위에 고정 후 Probing System이 3차원공간을 이동하여 측정부위의 공간 좌표치를 검출한 다음 각 좌표 데이터를 PC-System Software로 보내 미리 마련된 각종 기하학적 형체 즉 점, 선, 원, 면 등으로 자유롭게 구성하여 결과를 출력하거나 또는 사용자가 궁극적으로 요구하는 이들 형상간의 상관관계 즉 폭, 거리, 각도, 형상공차 등을 측정하여 3D 검사, 공구 인증, CAD 비교, 치수 분석, 역설계 등에 사용된다.
비접촉식 3차원 스캐너는 숨겨진 영역이나 포착하기 어려운 표면을 스캐너가 5축으로 이동하면서 레이저 주사선을 도달시켜, 고해상도의 렌즈를 통하여 데이터를 쉽게 얻을 수 있다. 또한 독립적인 소프트웨어로 이 데이터를 점군(point cloud)으로 전환하고, 전체 와이어프레임을 하나의 모델로 자동으로 만들어주며, 또한 CAD, CAE 등에서 사용할 수 있는 데이터로 만들어 준다.